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IT2805R 高精密源測(cè)量單元

參考價(jià) 8888
訂貨量 ≥1臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 上海騁利電子科技有限公司
  • 品牌 ITECH/艾德克斯
  • 型號(hào) IT2805R
  • 產(chǎn)地 國(guó)外
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2024/11/14 19:15:55
  • 訪問(wèn)次數(shù) 203

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上海騁利電子科技有限公司是一家從事代理,經(jīng)銷(xiāo)儀器儀表,電子配套設(shè)備的綜合性企業(yè),秉承"誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)、 用心服務(wù)、客戶至上、共謀發(fā)展"的宗旨,致力于電子測(cè)量及工業(yè)測(cè)試領(lǐng)域,竭誠(chéng)為國(guó)內(nèi)外制造,研發(fā)檢測(cè)提供儀器設(shè)備和全方面測(cè)試方案,深得廣大用戶的信賴和支持。

 

可編程電子負(fù)載,可編程電源,大功率電源,LCR 數(shù)字電橋,示波器,信號(hào)發(fā)生器,萬(wàn)用表,功率計(jì),計(jì)數(shù)器,程控安規(guī)測(cè)試儀,醫(yī)用安規(guī)測(cè)試儀,絕緣耐壓測(cè)試儀,無(wú)紙記錄儀,熱成像儀,邏輯分析儀,網(wǎng)絡(luò)分析儀,音頻/視頻分析儀,,實(shí)驗(yàn)室電力檢測(cè)儀,氣體分析,環(huán)境實(shí)驗(yàn),天平實(shí)驗(yàn)儀,測(cè)距儀,電子元器件,機(jī)柜配套設(shè)備,低電壓電氣設(shè)備

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
IT2800系列高精密源測(cè)量單元

IT2800系列是外觀緊湊、經(jīng)濟(jì)高效的臺(tái)式源測(cè)量單元,簡(jiǎn)稱源表或SMU。它集6種設(shè)備功能于一體,綜合了四象限電壓源,電流源,6.5位數(shù)字萬(wàn)用表、脈沖發(fā)生器、電池模擬器以及電子負(fù)載功能??纱钆銲TECH SPS5000系列半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試軟件實(shí)現(xiàn)高效的半導(dǎo)體器件特性表征測(cè)試。全系列覆蓋了10fA到10A的電流范圍以及100nV到1000V的電壓范圍。除了直流工作模式之外,IT2800系列SMU還能夠進(jìn)行脈沖測(cè)量,以防止器件自身發(fā)熱導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果出現(xiàn)誤差。5寸觸摸顯示屏,使源表具有出色的圖形用戶界面以及各種顯示模式,幫助工程師顯著提高測(cè)試效率。廣泛應(yīng)用于分立半導(dǎo)體器件、功率芯片、無(wú)源器件、光電器件、微功耗量測(cè)以及材料研究等領(lǐng)域。

電子器件的許多重要參數(shù)與電阻率及其分布的均勻性有密切的關(guān)系,例如二極管的反向飽和電流,晶體管的飽和壓降和放大倍數(shù)β等,都直接與硅單晶的電阻率有關(guān)。因此器件的電阻率測(cè)試已經(jīng)成為芯片加工中的重要工序,對(duì)其均勻性的控制和準(zhǔn)確的測(cè)量直接關(guān)系將來(lái)能否制造出性能更優(yōu)功率器件。 不同于使用萬(wàn)用表測(cè)量常規(guī)導(dǎo)體電阻,半導(dǎo)體硅單晶電阻率以及微電子領(lǐng)域的其他金屬薄膜電阻率的測(cè)量屬于微區(qū)薄層電阻測(cè)試,需要利用微小信號(hào)供電以及高精密的量測(cè)設(shè)備,包括測(cè)試接線方式上,也需要利用四線制的接法來(lái)提升測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性,行業(yè)內(nèi)稱為四探針測(cè)試法。 什么是四探針測(cè)試法? 四探針技術(shù)可測(cè)試對(duì)象主要有:晶圓片和薄層電阻,例如硅襯底片、研磨片、外延片,離子注入片、退火硅片、金屬膜和涂層等。利用探針?lè)治隹蓹z測(cè)整個(gè)芯片表面薄層電阻均勻性,進(jìn)而判斷離子注入片和注入工藝中存在的問(wèn)題。 四探針?lè)ò礈y(cè)量形狀可分為直線四探針?lè)ê头叫嗡奶结樂(lè)ā?1)直線四探針?lè)?直線四探針測(cè)試法的原理是用針距為1mm的四根探針同時(shí)壓在樣品的平整表面上,利用恒流源給外面的兩個(gè)探針通以微小電流,然后在中間兩個(gè)探針上用高精密數(shù)字萬(wàn)用表測(cè)量電壓,最后根據(jù)理論公式計(jì)算出樣品的電阻率,電阻率計(jì)算公式:,S代表探針間距。 直線四探針?lè)軠y(cè)出超過(guò)其探針間距三倍以上大小區(qū)域的不均勻性。 測(cè)試設(shè)備:不同探針間距探針臺(tái)+IT2806高精密源表+上位機(jī)軟件PV2800 IT2806 高精密源表(簡(jiǎn)稱SMU):集六種設(shè)備功能于一體(恒流源、恒壓源、脈沖發(fā)生器、6.5位DVM、電池模擬器,電子負(fù)載)。在電阻率的測(cè)試中,可將IT2806高精密源表切換至恒流源模式,在輸出電流同時(shí)量測(cè)中間兩探針之間的微小壓降,并搭配免費(fèi)的PV2800上位機(jī)軟件,自動(dòng)得出電阻率的測(cè)量結(jié)果。

測(cè)試精度高:高達(dá)100nV/10fA分辨率,電流量測(cè)精度最高可達(dá)0.1%+50pA,電壓量測(cè)精度最高可達(dá)0.015%+300uV;提供正向/反向電流連續(xù)變化測(cè)試,提高測(cè)試精度。 2)方形四探針?lè)ǎㄈ绶兜卤しǎ?范德堡法適用于扁平,厚度均勻,任意形狀且不含有任何隔離孔的樣品材料測(cè)試。相比較直線型四探針?lè)?,?duì)樣品形狀沒(méi)有要求。測(cè)試中,四個(gè)探針接觸點(diǎn)必須位于樣品的邊緣位置,測(cè)試接線方式也是在其中兩個(gè)探針點(diǎn)提供恒定電流,另外兩個(gè)點(diǎn)量測(cè)電壓。圍繞樣品進(jìn)行8次測(cè)量,對(duì)這些讀數(shù)進(jìn)行數(shù)學(xué)組合來(lái)決定樣品的平均電阻率。詳細(xì)測(cè)試方法可參見(jiàn)ASTM標(biāo)準(zhǔn)F76。

總結(jié):利用IT2800系列高精密源/測(cè)量單元可以精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體薄層電阻的電阻率測(cè)試,為半導(dǎo)體制造工藝的改進(jìn)提供數(shù)據(jù)依據(jù)。IT2800 SMU因其高精度測(cè)量和豐富的探針臺(tái)治具優(yōu)勢(shì),為行業(yè)提供專業(yè)的測(cè)試解決方案。

  • 型號(hào)
    電壓
    電流
    功率
    分辨率
    精 度
    接 口
    尺寸
  • IT2806R
    ±200V
    ±3A直流,±10A脈沖
    ±20W
    100nV/10fA(電源)
    100nV/10fA(測(cè)量)
    ±0.015%+300uV(200mV范圍)/±0.06%+100pA(100nA范圍)
    USB/LAN/Digital IO,標(biāo)配三同軸輸出端子
    1/2 2U
    詢價(jià)
  • IT2805R
    ±200V
    ±1.5A
    ±20W
    1uV/100fA(源)
    100nV/10fA (測(cè)量)
    ±0.015%+300uV(200mV范圍)/±0.06%+100pA(100nA范圍)
    USB/LAN/Digital IO,標(biāo)配三同軸輸出端子
    1/2 2U
    詢價(jià)
  • IT2801R
    ±1000V
    ±1A
    ±20W
    100nV/1pA(Source)
    100nV/1pA(Measure)
    0.015%+300uV(200mV 范圍) 0.025%+300pA(1uA范圍)
    USB/LAN/Digital IO,標(biāo)配三同軸輸出端子
    1/2 2U
    詢價(jià)
  • IT2801
    ±1000V
    ±1A
    ±20W
    100nV/1pA(Source)
    100nV/1pA(Measure)
    0.015%+300uV(200mV 范圍) 0.025%+300pA(1uA范圍)
    USB/LAN/數(shù)字IO
    選配GPIB
    1/2 2U
    詢價(jià)
  • IT2805
    ±200V
    ±1.5A
    ±20W
    1uV/100fA(源)
    100nV/10fA (測(cè)量)
    ±0.015%+300uV(200mV范圍)/±0.06%+100pA(100nA范圍)
    USB/LAN/數(shù)字IO
    選配GPIB
    1/2 2U
    詢價(jià)
  • IT2806
    ±200V
    ±3A直流,±10A脈沖
    ±20W
    100nV/10fA(電源)
    100nV/10fA(測(cè)量)
    ±0.015%+300uV(200mV范圍)/±0.06%+100pA(100nA范圍)
    USB/LAN/數(shù)字IO
    選配GPIB
    1/2 2U
    詢價(jià)
收起全部
*以上規(guī)格如有變動(dòng),恕不另行通知
產(chǎn)品特點(diǎn)
5英寸觸摸顯示屏,提供直觀的圖形化和數(shù)字化顯示模式
集六種設(shè)備功能于一體:電壓源、電流源、6 ?數(shù)字萬(wàn)用表(DCV,DCI, ohms)、電池模擬器、電子負(fù)載及脈沖發(fā)生器
四象限輸出及量測(cè)功能,支持兩線制和四限制量測(cè)
分辨率最高可達(dá)10fA/100nV,采樣率最高可達(dá)10us

圖形視圖、范圍視圖及記錄視圖三種圖形顯示模式

掃描掃描模式:線性/日志/脈沖線性/脈沖日志及清單
多達(dá)16臺(tái)設(shè)備同步功能,具備并行測(cè)試能力
內(nèi)建電阻、功率和Math測(cè)量功能
前置USB接口用于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、截屏或測(cè)試配置導(dǎo)入
豐富的內(nèi)置接口:Digital IO、USB、LAN

IT2800和IT2800R兩種機(jī)型可選,IT2800R支持后背板三同軸輸出

 可選配專業(yè)半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試軟件SPS5000,加速器件特性表征測(cè)試

產(chǎn)品功能與優(yōu)勢(shì)

六合一高精密源表,降低測(cè)試成本

傳統(tǒng)的半導(dǎo)體I-V特性測(cè)量方案通常是復(fù)雜且成本昂貴的,需要多種儀器配合完成測(cè)試,如電壓/電流源,脈沖發(fā)生器,高精密電 壓/電流表等。不僅占用有限的測(cè)試臺(tái)架空間,同時(shí)工程師需要編程實(shí)現(xiàn)多臺(tái)設(shè)備的控制及同步,才能確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確度。
IT2800系列SMU為工程師提供了一種即經(jīng)濟(jì)又高效的解決方案。它集六種設(shè)備功能于一體,將不同輸出和測(cè)量能力整合到緊 湊的1/2 2U尺寸中,可精確地輸出電壓或電流以及同時(shí)測(cè)量電壓和/或電流。它兼具以下儀器的功能:四象限電壓源、電流源、61/2數(shù)字萬(wàn)用表、脈沖發(fā)生器、電池模擬器以及電子負(fù)載。

高精密源測(cè)量單元



直觀的圖形化顯示,快速獲取產(chǎn)品特性

IT2800系列SMU的前面板有許多功能,以提高交互式使用的速度,用戶友好性和易操作性。這些功能包括5英寸彩色LCD觸摸顯示屏,USB 2.0 memory I/O端口、一個(gè)旋轉(zhuǎn)導(dǎo)航按鈕、trigger按鍵、功能按鍵以及主流的香蕉插座。USB2.0內(nèi)存端口支持輕松的數(shù)據(jù)存儲(chǔ),測(cè)試配置文件導(dǎo)入以及系統(tǒng)升級(jí)。IT2800提供圖形化和數(shù)字化兩種測(cè)量結(jié)果顯示模式,直觀的Graph view,Scope view以及Record view視圖,極大地提高了臺(tái)架測(cè)試和I-V特性分析的效率。


高精密源測(cè)量單元



標(biāo)準(zhǔn)掃描和列表掃描功能

IT2800系列SMU具備標(biāo)準(zhǔn)和列表LIST掃描功能。標(biāo)準(zhǔn)SWEEP模式下,支持線性和對(duì)數(shù)模式,單次和雙次掃描功能以及恒定和脈沖掃描功能。列表LIST掃描功能可以有效地執(zhí)行任意波形輸出,在表征響應(yīng)隨應(yīng)用電壓或電流而變化的測(cè)試中非常有用,用戶可以使用Excel導(dǎo)入或面板編輯的方式,生成一個(gè)任意形狀的掃描曲線,最多可以導(dǎo)入99999點(diǎn)數(shù)據(jù),是U-I和I-U特性測(cè)試的理想選擇。

高精密源測(cè)量單元



電池模擬器功能

得益于源表的四象限工作特性,IT2800系列產(chǎn)品不僅可作電壓源,電流源,6位半數(shù)字萬(wàn)用表,還內(nèi)置了專業(yè)的電池模擬器功能,以幫助工程師更好地研究電池特性對(duì)DUT功耗及性能可靠性的影響。您可以通過(guò)自定義(SOC-VOC-R)或常規(guī)參數(shù)設(shè)定模式快速生成電池曲線,并可以任意zhi定電池的初始SoC狀態(tài),而無(wú)需像使用真實(shí)電池一樣等待充電或放電,極大地提升了研發(fā)和生產(chǎn)測(cè)試效率。





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